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摘要：本申请涉及一种液氮真空探针台，包括探针台本体，探针台本体具有检测工位，探针台本体设有用于调节检测工位内环境的调节组件；检测工位内转动安装有检测座，检测座设有用于驱使检测座转动的转动件；检测座的顶部具有多个用于安装芯片的安装位，探针台本体滑移安装有多个探针，所有探针绕检测座的轴向间隔设置，各探针均设有用于驱使探针沿X轴、Y轴以及Z轴移动的滑动组件。本申请的一种液氮真空探针台能够提高芯片的检测效率。
主权项：1.一种液氮真空探针台，包括探针台本体1，其特征在于：所述探针台本体1具有检测工位11，所述探针台本体1设有用于调节检测工位11内环境的调节组件2；所述检测工位11内转动安装有检测座3，所述检测座3设有用于驱使检测座3转动的转动件4；所述检测座3的顶部具有多个用于安装芯片的安装位31，所述探针台本体1滑移安装有多个探针5，所有探针5绕检测座3的轴向间隔设置，各所述探针5均设有用于驱使探针5沿X轴、Y轴以及Z轴移动的滑动组件6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海胤企制冷设备有限公司 一种液氮真空探针台
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