龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种复合凹槽型FBAR滤波器及其制备方法，复合凹槽型FBAR滤波器包括具有复合凹槽的复合凹槽状衬底、填充复合凹槽，并与第二斜角凹槽的底部间隔有空隙的底电极层、堆叠在底电极层的部分上表面的预沉积层、堆叠在预沉积层的上表面的压电层以及堆叠在压电层的上表面的顶电极层。复合凹槽状衬底的复合凹槽中第一斜角凹槽和第二斜角凹槽的存在使得底电极层可以承受位于其上方的谐振区，包括预沉积层、压电层和顶电极层的压力，而不会发生断裂或塌陷，因此无需加入支撑层或支撑柱等来牺牲器件性能以换取结构稳定性，从而保证了FBAR滤波器的高性能。
主权项：1.一种复合凹槽型FBAR滤波器，其特征在于，包括：复合凹槽状衬底；所述复合凹槽状衬底具有复合凹槽；所述复合凹槽包括第一斜角凹槽和第二斜角凹槽；所述第二斜角凹槽形成于所述第一斜角凹槽底部中心区域；底电极层；所述底电极层填充所述复合凹槽，并与所述第二斜角凹槽的底部间隔有空隙；预沉积层；所述预沉积层堆叠在所述底电极层的部分上表面；压电层；所述压电层堆叠在所述预沉积层的上表面；顶电极层；所述顶电极层堆叠在所述压电层的上表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种复合凹槽型FBAR滤波器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号