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摘要：本发明涉及一种导热膜面内导热系数测量装置。该装置包括：真空腔体；位于真空腔体内的两个接触电极和两个热沉，两个热沉位于两个接触电极之间；两个热沉承载导热膜，两个接触电极与导热膜电连接；两个金属电极连接于一恒流电源，两个热沉连接于电压测量模块；测温单元，测量导热膜沿测量方向的多个表面温度值，所述测量方向为两个热沉的连线方向。通过测试装置设计和数据处理优化，将测量误差控制在3.0％内，不确定性降至0.5％，能够消除热辐射、热对流等热损对于导热系数测量的影响，操作步骤简单，测试结果精准。
主权项：1.一种导热膜面内导热系数测量装置，其特征在于，包括：真空腔体；位于真空腔体内的两个接触电极和两个热沉，两个热沉位于两个接触电极之间；两个热沉承载导热膜，两个接触电极与导热膜电连接；两个接触电极连接于一恒流电源，两个热沉连接于电压测量模块；测温单元，测量导热膜沿测量方向的多个表面温度值，所述测量方向为两个热沉的连线方向；数据处理单元，与测温单元相连，根据测温单元采集的导热膜沿测量方向的多个表面温度值，拟合得到T-x的一元二次方程；根据拟合曲线的温度最高点，对应温度为To，计算To和Ts的温差△T；Ts为热沉温度。
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