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摘要：本发明公开了一种无监督扫描电子显微镜图像的失真矫正匹配方法和系统，属于图像处理领域。获取晶圆的SEM图像和设计版图文件，设计版图文件包含SEM图像中的相应区域；利用无监督SEM图案位置提取模型将SEM图像转换为参考版图风格图像，得到携带SEM图像中图案位置信息的假参考版图，将假参考版图与设计版图文件匹配，根据设计版图文件中与SEM图像相匹配的真实版图区域生成匹配版图；采用光流法计算假参考版图与匹配版图之间的形变图，利用形变图矫正SEM图像中的畸变，得到矫正后的SEM图像；所述矫正后的SEM图像与匹配版图用于晶圆的热点检测和轮廓分析。本发明解决了晶圆SEM图像存在的视场失真问题，降低了匹配误差。
主权项：1.一种无监督扫描电子显微镜图像的失真矫正匹配方法，其特征在于，包括以下步骤：获取晶圆的SEM图像和设计版图文件，所述设计版图文件包含SEM图像中的相应区域；利用无监督SEM图案位置提取模型将SEM图像转换为参考版图风格图像，得到携带SEM图像中图案位置信息的假参考版图，将假参考版图与设计版图文件匹配，根据设计版图文件中与SEM图像相匹配的真实版图区域生成匹配版图；所述的无监督SEM图案位置提取模型是基于CycleGAN模型的双生成器双鉴别器网络结构，在无监督SEM图案位置提取模型的训练过程中引入边缘对比学习损失和HV翻转不变性损失；采用光流法计算所述假参考版图与所述匹配版图之间的形变图，利用形变图矫正SEM图像中的畸变，得到矫正后的SEM图像；所述矫正后的SEM图像与匹配版图用于晶圆的热点检测和轮廓分析。
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百度查询： 浙江大学 浙江创芯集成电路有限公司 无监督扫描电子显微镜图像的失真矫正匹配方法和系统
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