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摘要：本发明公开了一种MEMS微镜阵列及其制备方法，MEMS微镜阵列由多个MEMS微镜周期性排列构成，每个MEMS微镜包括平行且上下相对的两片SOI片，两片SOI片通过硅硅键合连接；其中上方SOI片包括衬底、上梳齿结构、镜面、转轴结构、电极结构；下方SOI片包括下梳齿结构；MEMS微镜阵列由本发明所设计的制备方法制备而成，本发明所设计的MEMS微镜阵列旨在解决现有技术中MEMS微镜阵列电极引线布置复杂、成本高、良率低的问题，同时提供了MEMS微镜阵列的制备方法，以降低工艺难度，简化制造流程，从而降低制造成本。

主权项：1.一种MEMS微镜阵列，由多个MEMS微镜周期性排列构成，其特征在于，每个MEMS微镜包括平行且上下相对的两片SOI片，两片SOI片通过硅硅键合连接；其中上方SOI片包括衬底1、上梳齿结构、镜面2、转轴结构、电极结构；下方SOI片包括下梳齿结构；上方SOI片的转轴结构包括一对外轴转轴3和一对内轴转轴4，以及分别与外轴转轴3、内轴转轴4相连接的转轴框架5；转轴框架5为环形结构，位于衬底1中心位置，镜面2位于转轴框架5的环形结构内部，一对外轴转轴3所在直线共线且分别位于转轴框架5外侧的上下两端，外轴转轴3的一端分别与转轴框架5相连接，外轴转轴3的另一端分别与衬底1相连接，使转轴框架5以一对外轴转轴3为轴，相对于固定的衬底1产生轴向转动；一对内轴转轴4所在直线共线且分别位于转轴框架5内侧的左右两端，内轴转轴4的一端分别与转轴框架5相连接，内轴转轴4的另一端分别与镜面2相连接，使镜面2以一对内轴转轴4为轴，相对于固定的衬底1产生轴向转动；上梳齿结构包括一对外轴动梳齿组6和一对内轴动梳齿组7，外轴动梳齿组6呈轴对称形状，分别位于转轴框架5外侧的左右两端，一对外轴动梳齿组6的对称轴所在直线共线，且与内轴转轴4共线；一对外轴动梳齿组6的一端分别与转轴框架5相连接，另一端与衬底1相对，一对外轴动梳齿组6随转轴框架5产生轴向转动；内轴动梳齿组7呈轴对称形状，分别位于转轴框架5内侧的上下两端，一对内轴动梳齿组7对称轴所在直线共线，且与外轴转轴3共线；一对内轴动梳齿组7的一端分别与镜面2相连接，另一端与转轴框架5内侧相对，一对内轴动梳齿组7随镜面2产生轴向转动；下梳齿结构包括一对外轴定梳齿组8和一对内轴定梳齿组9，在下方SOI片上位置固定，且位置分别与上梳齿结构中的外轴动梳齿组6和内轴动梳齿组7相对应；上梳齿结构、镜面2、转轴结构在衬底1上所形成的图形呈轴对称。

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