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摘要：一个示例包括用于制造衬底集成波导SIW100的方法。该方法包括在载体表面上形成第一金属层102。第一金属层102可以沿轴线110延伸。该方法还包括形成沿轴线110从第一金属层102的第一边缘延伸的第一金属侧壁104，以及形成沿轴线110从第一金属层102的与第一边缘相对的第二边缘延伸的第二金属侧壁106，以形成沿轴线110延伸的沟槽。该方法还包括在第一金属层102上方以及第一金属侧壁104和第二金属侧壁106上方提供介电材料114。该方法还包括在介电材料114上方以及第一金属侧壁104和第二金属侧壁106上方形成第二金属层108。第二金属层108可以沿轴线110延伸，以沿轴线110在所有径向方向上包围SIW100。
主权项：1.一种用于制造衬底集成波导即SIW的方法，所述方法包括：在载体表面上形成第一金属层，所述第一金属层沿轴线延伸；形成沿所述轴线从所述第一金属层的第一边缘延伸的第一金属侧壁；形成沿所述轴线从所述第一金属层的与所述第一边缘相对的第二边缘延伸的第二金属侧壁，以形成沿所述轴线延伸的沟槽；在所述第一金属层上方以及所述第一金属侧壁和所述第二金属侧壁上方提供介电材料；以及在所述介电材料上方以及所述第一金属侧壁和所述第二金属侧壁上方形成第二金属层，所述第二金属层沿所述轴线延伸，以沿所述轴线在所有径向方向上包围所述SIW。
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百度查询： 德克萨斯仪器股份有限公司 衬底集成波导
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