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摘要：一种用于基板处理腔室的加热模块包括加热灯，所述加热灯耦接至反射器板和热交换器。所述热交换器冷却所述加热模块内的气体。所述加热模块内的风扇使气体循环穿过所述反射器板中的孔隙以冷却加热灯泡。所述气体由所述热交换器冷却，并再循环。一个或多个罩在所述气体正在循环时引导所述气体。
主权项：1.一种用于适合于在半导体制造中使用的处理腔室的加热模块，所述加热模块包括：外壳；盖，在所述外壳上；反射器板，设置在所述外壳中；多个加热灯，与所述反射器板相关联；以及第一热交换模块，设置在所述反射器板与所述盖之间，所述第一热交换模块包括设置在第一内罩与第一外罩之间的多个第一热交换管。
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百度查询： 应用材料公司 具有集成的热交换器的空气罩
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