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摘要：本申请实施例提供一种光电探测器，该光电探测器包括：衬底层；绝缘层，位于衬底层之上；光波导，位于绝缘层之上；其中，光波导包括在第一方向上依次排列的第一类型重掺杂区、第一第一类型高掺杂区、第一类型掺杂区、第一本征区、第一第二类型掺杂区、第二本征区、第二第二类型掺杂区、第二类型高掺杂区、第二类型重掺杂区；第一类型与第二类型不同；第一方向为平行于衬底层顶面的方向；吸收层，位于光波导之上；其中，吸收层靠近上表面处包括第二第一类型高掺杂区；吸收层的材料与光波导的材料不同；互联结构，设置为将第一类型重掺杂区和第二第一类型高掺杂区连接至第一电极，将第二类型重掺杂区连接至第二电极。
主权项：1.一种光电探测器，其特征在于，所述光电探测器包括：衬底层100；绝缘层200，位于所述衬底层100之上；光波导300，位于所述绝缘层200之上；其中，所述光波导300包括在第一方向上依次排列的第一类型重掺杂区301、第一第一类型高掺杂区302、第一类型掺杂区303、第一本征区304、第一第二类型掺杂区305、第二本征区306、第二第二类型掺杂区307、第二类型高掺杂区308、第二类型重掺杂区309；所述第一方向为平行于所述衬底层顶面的方向；所述第一类型与所述第二类型不同；吸收层400，位于所述光波导300之上；其中，所述吸收层400靠近上表面处包括第二第一类型高掺杂区401；所述吸收层400的材料与所述光波导300的材料不同；互联结构，设置为将所述第一类型重掺杂区301和所述第二第一类型高掺杂区401连接至第一电极801，将所述第二类型重掺杂区309连接至第二电极802。
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百度查询： 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 光电探测器
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