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摘要：本申请实施例提供了一种超声波换能器及其制备方法、超声波指纹模组及电子设备。该超声波换能器的制备方法，包括：在衬底的上表面形成底电极，并在所述衬底的上表面形成覆盖所述底电极的压电层；在所述衬底的上方形成覆盖所述压电层的顶电极材料层；将所述顶电极材料层的第二材料层部分去除，保留所述顶电极材料层中预定用于形成顶电极的第一材料层部分，其中，所述第二材料层部分为所述顶电极材料层中除所述第一材料层部分以外的其他部分；基于保留的所述第一材料层部分形成顶电极，以得到所述超声波换能器。本申请实施例的技术方案能够制备出性能较好的超声波换能器。
主权项：1.一种超声波换能器的制备方法，包括：在衬底的上表面形成底电极，并在所述衬底的上方形成覆盖所述底电极的压电层；在所述衬底的上方形成覆盖所述压电层的顶电极材料层；将所述顶电极材料层的第二材料层部分去除，保留所述顶电极材料层中预定用于形成顶电极的第一材料层部分，其中，所述第二材料层部分为所述顶电极材料层中除所述第一材料层部分以外的其他部分；基于保留的所述第一材料层部分形成顶电极，以得到所述超声波换能器。
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百度查询： 深圳市汇顶科技股份有限公司 超声波换能器及其制备方法、超声波指纹模组及电子设备
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