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摘要：本发明公开了一种发光层结构、复合插入层结构及其制备方法和应用。复合插入层结构包括：至少一个复合插入层单元，所述复合插入层单元包括沿选定方向依次层叠的第一AlN层、第一SiN层、第二AlN层和第二SiN层，其中，所述第一AlN层、所述第一SiN层和所述第二AlN层形成的叠层结构层的内部具有交杂分布的多个AlN微结构和多个SiN微结构。本发明降低了外延片中发光层的应力，增强了发光层内的辐射复合效率，提高了LED外延片的亮度。
主权项：1.一种复合插入层结构，其特征在于包括：至少一个复合插入层单元，所述复合插入层单元包括沿选定方向依次层叠的第一AlN层、第一SiN层、第二AlN层和第二SiN层，其中，所述第一AlN层、所述第一SiN层和所述第二AlN层形成的叠层结构层的内部具有交杂分布的多个AlN微结构和多个SiN微结构。
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百度查询： 江苏第三代半导体研究院有限公司 发光层结构、复合插入层结构及其制备方法和应用
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