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摘要：本发明公开了一种铝镁硅合金靶材及其制备方法和应用，属于材料加工技术领域；本发明提供的一种铝镁硅合金靶材的制备方法中，通过对铝镁硅合金铸锭预热后锻造，锻造后预热并进行轧制，随后热等静压处理，接着再依次进行预热后轧制和保温处理，最后矫平、机加；同时，本发明还控制热等静压处理以及保温处理的条件参数，从而能够有效的得到晶粒细小均匀、纯度高且内部无缺陷的铝镁硅合金靶材；并且，本发明提供的铝镁硅合金靶材的制备方法可操作性、可重复性强，成材率高。
主权项：1.一种铝镁硅合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1将铝镁硅合金铸锭一次预热至450-600℃后锻造，锻造结束后水冷；2对步骤1水冷后的工件二次预热，二次预热结束后一次轧制，一次轧制结束后空冷；3对步骤2空冷后的工件进行热等静压处理；所述热等静压处理的温度为450-550℃、时间为3-5h、压力为130-150MPa；4对步骤3热等静压处理后的工件进行三次预热，三次预热结束后二次轧制，二次轧制结束后空冷；5将步骤4空冷后的工件置于300-400℃下保温60-120min，随后空冷；6将步骤5空冷后的工件进行矫平、机加，随后与背板绑定加工，得铝镁硅合金靶材。
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百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种铝镁硅合金靶材及其制备方法和应用
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