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摘要：本申请提供了一种基于声学腔的机械振子量子器件及其制备方法以及室温读取装置。器件包括：薄膜机械振子，包括：硅衬底，包括硅衬底本体和声学腔，硅衬底本体围绕声学腔；第一薄膜层，设置在硅衬底本体的第一表面上，且覆盖声学腔；第二薄膜层，设置在硅衬底本体的第二表面上，且不覆盖声学腔；第一金属化层，设置在第一薄膜层上，包括设置在声学腔上方的中心部、设置在硅衬底本体的第一表面上方的本体部和连接中心部与本体部的连接部；体声波谐振器，包括：蓝宝石衬底；第二金属化层，设置在蓝宝石衬底下；压电层，设置在第二金属化层下，通过铟柱与第一金属化层连接。本申请在常温真空环境中通过耗散耦合实现对薄膜机械振子声学模式的高效读取。
主权项：1.一种基于声学腔的机械振子量子器件，其特征在于，包括：薄膜机械振子，包括：硅衬底，包括硅衬底本体和声学腔，所述硅衬底本体围绕所述声学腔；第一薄膜层，设置在所述硅衬底本体的第一表面上，且覆盖所述声学腔；第二薄膜层，设置在所述硅衬底本体的相对所述第一表面的第二表面上，且不覆盖所述声学腔；以及第一金属化层，设置在所述第一薄膜层上，包括设置在所述声学腔上方的中心部、设置在所述硅衬底本体的所述第一表面上方的本体部和连接所述中心部与所述本体部的连接部；以及体声波谐振器，包括：蓝宝石衬底；第二金属化层，设置在所述蓝宝石衬底下；以及压电层，设置在所述第二金属化层下；其中，所述压电层通过铟柱与所述第一金属化层连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京量子信息科学研究院 基于声学腔的机械振子量子器件及其制备方法以及室温读取装置
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