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摘要：本公开实施例涉及单晶硅生产技术领域，提供一种单晶炉，单晶炉包括炉体、坩埚、加热件以及隔离结构，炉体内设置有保温腔，炉体上设置有与保温腔连通的导气孔；坩埚设置于保温腔内；加热件设置于保温腔内，加热件套设于坩埚外；隔离结构设置于保温腔内，隔离结构套设于坩埚外，隔离结构与保温腔的内腔壁之间形成有与导气孔连通的排气通道，隔离结构位于加热件靠近导气孔的一侧，加热件与隔离结构之间预留有与排气通道连通的入口间隙，以让通入保温腔内的惰性气体可自加热件与隔离结构之间的入口间隙进入排气通道后，从导气孔处排出到炉体外。本公开实施例提供的单晶炉，至少有利于降低现有的单晶炉热场的能耗，减小坩埚上的氧化物的沉积。
主权项：1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体内设置有保温腔，所述炉体上设置有与所述保温腔连通的导气孔；坩埚，所述坩埚设置于所述保温腔内；加热件，所述加热件设置于所述保温腔内，所述加热件套设于所述坩埚外；隔离结构，所述隔离结构设置于所述保温腔内，所述隔离结构套设于所述坩埚外，所述隔离结构与所述保温腔的内腔壁之间形成有与所述导气孔连通的排气通道，所述隔离结构位于所述加热件靠近所述导气孔的一侧，所述加热件与所述隔离结构之间预留有与所述排气通道连通的入口间隙。
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百度查询： 晶科能源股份有限公司 四川晶科能源有限公司 单晶炉
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