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摘要：本发明公开了一种声表面波增强的Ga2O3日盲紫外探测器，包括衬底以及在衬底表面设置的压电半导体层；位于压电半导体层表面设置有金属电极和叉指换能器；所述叉指换能器作为SAW的输入端，产生声表面波；金属电极作为探测器的电极，用于载流子的收集。所述金属电极和叉指换能器分别置于压电半导体层两端，两者之间距离为l。本发明将声表面波与探测器光电机制进行深度耦合，通过声‑光‑电的物理机制以及通过优化叉指换能器的设计产生声表面波，有效调控Ga2O3能带并抑制载流子复合，实现Ga2O3探测器性能的提升，从而推动高性能Ga2O3日盲紫外光电探测器的发展。
主权项：1.一种声表面波增强的Ga2O3日盲紫外探测器，其特征在于，包括衬底1、压电半导体层2、金属电极3和叉指换能器4，压电半导体层2设置在衬底1表面；金属电极3和叉指换能器4设置于压电半导体层2表面；所述叉指换能器4作为声表面波SAW的输入端，产生声表面波；金属电极3作为探测器的电极，用于载流子的收集；压电半导体层2采用ε-Ga2O3材料。
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百度查询： 西安电子科技大学 一种声表面波增强的Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法
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