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一种PTFE复合驻极体压电敏感器件及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种PTFE复合驻极体压电敏感器件及其制备方法。所述制备方法包括:进行等离子体处理,形成位于表面的过氧基团;薄膜叠加,形成三明治结构;与丙烯酸溶液接触,以使丙烯酸溶液充满各层间隙,然后进行热处理引发丙烯酸聚合反应获得组合前体;对组合前体进行热压处理以及极化处理,并设置电极,获得PTFE复合驻极体压电敏感器件。本发明在层间通过原位接枝及聚合反应形成了具有化学键连接的连接层,利用该连接层的高介电常数以及高结合能力的特点,避免了界面的电荷流失和环境侵蚀,从而提高了压电器件的耐久性和稳定性。

主权项:1.一种PTFE复合驻极体压电敏感器件的制备方法,其特征在于,包括:提供多孔PTFE薄膜和多个致密PTFE薄膜;在所述多孔PTFE薄膜的两面,以及所述致密PTFE薄膜的一个选定面进行等离子体处理,形成位于表面的过氧基团;使两层所述致密PTFE薄膜与一层所述多孔PTFE薄膜叠加,形成三明治结构,且上下两层的致密PTFE薄膜的选定面均面向所述多孔PTFE薄膜;将所述三明治结构与丙烯酸溶液接触,以使丙烯酸溶液充满各层间隙,然后对吸附所述丙烯酸溶液后的三明治结构进行热处理,引发丙烯酸聚合反应,且形成的所述聚丙烯酸与所述多孔PTFE薄膜的表面和致密PTFE薄膜的选定面上的过氧基团接枝,热处理结束后,获得组合前体;对所述组合前体进行热压处理以及清洗和极化处理,并设置电极,获得PTFE复合驻极体压电敏感器件。

全文数据:

权利要求:

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