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摘要:本发明公开了一种基于共面放电预电离的介质阻挡放电等离子体装置,包括介质阻挡放电装置和等离子体激励电源。双介质阻挡放电装置的两端电极均为平板共面放电阵列;单介质阻挡放电装置的一端电极是平板共面放电阵列,另一端电极是金属平板电极或平板介质电极;平板共面放电阵列中,介质平板选用绝缘介质材料,一个或多个网状金属电极内嵌在介质平板中,金属线电极内嵌在网状金属电极的网孔中部的介质平板中。等离子体激励电源用于向介质阻挡放电装置的两端电极施加反相电压。在电压小的阶段先实现共面放电预电离效果,为后续大电压阶段提供大量种子电子和激发态粒子,从而显著降低介质阻挡放电起始电压,增强放电等离子体活性。
主权项:1.一种基于共面放电预电离的介质阻挡放电等离子体装置,其特征在于,包括:(1)介质阻挡放电装置,其包括两端电极;所述介质阻挡放电装置有双介质阻挡放电装置或单介质阻挡放电装置两种形式:双介质阻挡放电装置的两端电极均为平板共面放电阵列;单介质阻挡放电装置的一端电极是平板共面放电阵列,另一端电极是金属平板电极或平板介质电极;所述平板共面放电阵列包括介质平板、网状金属电极和金属线电极,介质平板选用绝缘介质材料,一个或多个网状金属电极内嵌在介质平板中,金属线电极内嵌在网状金属电极的网孔中部的介质平板中;(2)等离子体激励电源,用于向介质阻挡放电装置的两端电极施加反相电压。
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