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摘要：本发明提供了一种硅片花篮翻转转运装置，属于硅片加工领域，包括翻转机构、传输机构和阻挡机构；翻转机构设置在传输机构的一端，用于翻转花篮；传输机构水平布置，用于水平传送花篮；阻挡机构设置在传输机构的传输线上，用于花篮传输的阻挡控制。本申请采用夹紧定位、翻转后传输阻挡机构，使得硅片花篮翻转转运装置更稳定，更利于工作节拍的控制，便于在半导体硅片检测及加工领域等领域推广应用。
主权项：1.一种硅片花篮翻转转运装置，其特征在于：包括翻转机构100、传输机构200和阻挡机构300；所述翻转机构100设置在传输机构200的一端，用于翻转花篮；所述传输机构200水平布置，用于水平传送花篮；所述阻挡机构300设置在传输机构200的传输线上，用于花篮传输的阻挡控制。
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百度查询： 苏州天准科技股份有限公司 硅片花篮翻转转运装置
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