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摘要：本发明提出一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法，所述方法包括以下步骤：建立本发明中超低频气浮隔振系统的动力学方程；推导出隔振系统的状态空间方程；设计基于状态空间的状态观测器来估计总扰动；将状态空间观测器表示为线性扩展状态观测器；将观测器补偿后的模型简化为单位增益双积分器；针对简化后的模型设计比例微分控制器。本方法不依赖于准确的系统参数，因为其具有线性扩展状态观测器，从而具有更强的抗干扰能力。同时该方法简单易用，有效提高了超低频气浮隔振系统的振动隔离效果。
主权项：1.一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、建立超低频气浮隔振系统的动力学方程；步骤二、根据动力学方程，推导出隔振系统的状态空间方程；步骤三、设计超低频隔振系统的状态空间观测器；步骤四、将状态空间观测器表示为线性扩展状态观测器；步骤五、针对线性扩展状态观测器补偿后的模型设计比例微分控制器。
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百度查询： 哈尔滨工业大学 一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法
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