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一种三维芯片结构分析的体-面积分方程混合求解方法 

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摘要:本发明提出了一种三维芯片结构分析的体‑面积分方程混合求解方法,包括步骤:步骤1:建立表征金属部分电场强度的面积分方程;步骤2:建立表征介质部分电、磁场强度的体积分方程;步骤3:通过场的耦合得到VSIEs;步骤4:采用MoM‑Nystrom混合算法求解VSIEs。本发明首次公开将Nystrom方法应用于体‑面积分方程的求解,由于Nystrom方法具有不依赖共形网格、对网格内部的材料本征参数的要求低的特性,在求解体‑面积分方程时大大减少了传统方法的未知数个数,极大降低了求解难度。本发明使用Nystrom方法离散体‑面积分方程中的体积分部分,并首次给出了Nystrom方法处理体积分方程的推导公式,对该技术进行了详细的细节说明,可广泛应用于在三维芯片结构分析。

主权项:1.一种三维芯片结构分析的体-面积分方程混合求解方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:建立表征金属部分电场强度的面积分方程;步骤2:建立表征介质部分电、磁场强度的体积分方程;步骤3:通过场的耦合得到VSIEs;步骤4:采用MoM-Nystrom混合算法求解VSIEs。

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