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摘要：本发明公开了一种缺陷检测装置，涉及光学检测技术领域。照明光学系统被配置为，发射P偏振光的照明光束；第一偏振棱镜被配置为，位于照明光学系统与第一四分之一波片之间的光路上，通过照明光束；第一四分之一波片被配置为，位于第一偏振棱镜与待测物体之间，被待测物体的上表面反射的反射光束，再次经过第一四分之一波片后，变为S偏振光，经第一偏振棱镜的反射，投射至成像系统；下光路反射组件被配置为，将透过待测物体的透射光束反射，投射至成像系统。本发明实施例实现同时检测待测物体上下表面及内部缺陷，使缺陷检测方案多样化，通过多种方式组合检测提高检测精度。
主权项：1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括照明光学系统、第一偏振棱镜、第一四分之一波片、成像系统和下光路反射组件；所述照明光学系统被配置为，发射P偏振光的照明光束；所述第一偏振棱镜被配置为，位于所述照明光学系统与所述第一四分之一波片之间的光路上，通过所述照明光束；所述第一四分之一波片被配置为，位于所述第一偏振棱镜与待测物体之间，被所述待测物体的上表面反射的反射光束，再次经过所述第一四分之一波片后，变为S偏振光，经所述第一偏振棱镜的反射，投射至所述成像系统；所述下光路反射组件被配置为，将透过所述待测物体的透射光束反射，投射至所述成像系统。
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百度查询： 新毅东(北京)科技有限公司 一种缺陷检测装置
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