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摘要：本发明公开了一种基于圆形检测区域的掩膜版缺陷检测的方法，采用一掩膜版缺陷检测系统实现，掩膜版缺陷检测系统含有检测相机和装载掩膜版的运动平台，方法的步骤中含有：在掩膜版设计图上设定对准用的特征图形以及通过指定圆心gx0,gy0和半径r的方式选择圆形检测区域；运动平台上装载掩膜版后，基于特征图形通过检测相机对运动平台上的掩膜版和掩膜版设计图进行对准，从而建立运动平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系。通过该方法可以检测圆形的掩膜版或方形掩膜版圆形检测区域的检测，提高了检测效率。

主权项：1.一种基于圆形检测区域的掩膜版缺陷检测的方法，采用一掩膜版缺陷检测系统实现，掩膜版缺陷检测系统含有检测相机和装载掩膜版的运动平台，其特征在于方法的步骤中含有：在掩膜版设计图上设定对准用的特征图形以及通过指定圆心gx0,gy0和半径r的方式选择圆形检测区域；运动平台上装载掩膜版后，基于特征图形通过检测相机对运动平台上的掩膜版和掩膜版设计图进行对准，从而建立运动平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系；根据检测相机的宽度像素数w、检测相机的像素大小p、圆形检测区域的圆心坐标gx0,gy0、圆形检测区域的半径r以及运动平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系计算出扫描行数row以及每个扫描行的起始运动平台坐标和终止运动平台坐标；基于计算得到的扫描行数row和每个扫描行的起始运动平台坐标和终止运动平台坐标，触发运动平台进行蛇形扫描，通过检测相机最终实现整个圆形检测区域的扫描；其中，扫描行数的计算方式如下：row＝2*rw*p；每个扫描行的起始运动平台坐标和终止运动平台坐标的计算方式如下：第i个扫描行的起始版图坐标为gxi_begin,gyi_begin和终止版图坐标为gxi_end,gyi_end；gxi_begin＝gx0-r+w*p*i-1；gyi_begin＝gy0+pow-1,i-1*sqrtpowr,2-powr-2*w*p,2；gxi_end＝gx0-r+w*p*i-1；gyi_end＝gy0-pow-1,i-1*sqrtpowr,2-powr-2*w*p,2；根据建立的运动平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系，计算出对应的第i个扫描行的起始运动平台坐标xi_begin,yi_begin和终止运动平台坐标xi_end,yi_end；i为1到row的自然数。

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