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摘要：本发明提供一种MEMS元件，在具备后腔9的基板1上，包括固定电极5的背板7和包括可动电极的振动膜3隔着垫片4相向配置，在振动膜3具备与背板7连结的柱10和柱侧狭缝11以及周缘部侧狭缝12，在振动膜3形成有多个振动部13和与振动部13相向的多个固定电极部14。振动膜3的中央部通过柱10与背板7连结，因此，能够抑制振动膜3中央部的振幅。多个振动部分别在柱10与振动膜3的接合部侧设置有柱侧狭缝11，在周缘部设置有周缘部侧狭缝12，从而振动膜3的中央部与周缘部的振幅量的差变小。
主权项：1.一种MEMS元件，具备：基板，其具备后腔；振动膜，其包括接合于所述基板上的可动电极；以及背板，其包括与所述可动电极相向配置的固定电极，所述振动膜在其中央部具有连结所述背板与所述振动膜的柱，并且在所述柱与所述振动膜的接合部和所述振动膜的周缘部之间的区域具有多个振动部，各所述多个振动部通过由柱侧狭缝和周缘部侧狭缝包围成的区域形成，所述柱侧狭缝通过从所述柱与所述振动膜的接合部侧朝向所述周缘部向相互不同的方向延伸的第一狭缝部和第二狭缝部接合而成，所述周缘部侧狭缝配置于从所述第一狭缝部朝向所述周缘部的延长线与从所述第二狭缝部朝向所述周缘部的延长线之间的所述周缘部，所述固定电极具有多个固定电极部，所述多个固定电极部分别配置于与各所述多个振动部相向的区域。
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权利要求：
百度查询： 日清纺微电子株式会社 MEMS元件
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