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气体传感器及气体传感器的制造方法 

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摘要:本发明提供一种能够提高响应性的气体传感器。气体传感器(10)具备:电极部(50),具备1个以上的电极对(70),且第一电极(71)与第二电极(72)隔着间隙在第一方向上相向;及感应膜(60)。在将第一方向上的第一电极(71)与第二电极(72)之间的电极间距离和第一电极(71)的与第一方向正交的切断面处的电极面积之积设为电极间体积的情况下,由电压施加部(80)施加到电极部(50)的电压除以电极间体积而得到的商值大于4.2×1016Vm3且为2.0×1025Vm3以下。电极面积为2.5×10‑15m2以上。

主权项:1.一种气体传感器,具备:电极部,具备1个以上的具有第一电极及第二电极的电极对,且在所述电极对中所述第一电极与所述第二电极隔着间隙在第一方向上相向;感应膜,配置于所述电极对中的所述第一电极与所述第二电极之间;及电压施加部,在所述第一电极侧与所述第二电极侧之间对所述电极部施加电压,在将所述第一方向上的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间距离和所述第一电极的与所述第一方向正交的切断面处的电极面积之积设为电极间体积的情况下,由所述电压施加部施加到所述电极部的电压除以所述电极间体积而得到的商值大于4.2×1016Vm3且为2.0×1025Vm3以下,所述电极面积为2.5×10-15m2以上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本特殊陶业株式会社 气体传感器及气体传感器的制造方法

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