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摘要：本发明公开了一种磁性随机信息存储材料用前驱体β‑酮亚胺基乙二醇二甲醚FeII化合物，属于微电子材料技术领域。本发明提供了一种如式I所示的β‑酮亚胺基乙二醇二甲醚FeII化合物，有良好的耐空气水分稳定性，较好的溶解性，良好的挥发性和热稳定性，以及良好的成膜性能，可用作化学气相沉积CVD原子层沉积ALD的前驱体，通过CVDALD工艺制备出良好的Fe基薄膜。同时本发明合成方法简便，条件温和，降低了前驱体材料的合成成本。
主权项：1.具有通式I所示结构的β-酮亚胺基乙二醇二甲醚FeII化合物： 其中，R为氢原子、C1-C6烷基、C2-C5链烯基、C2-C5环烷基、C6-C10芳基或-SiR13。
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百度查询： 许昌学院 一种磁性随机存储材料用前驱体β-酮亚胺基乙二醇二甲醚Fe(II)化合物
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