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摘要：本发明公开了一种特殊形状晶圆的平坦度测量设备及测量方法，包括测量底座，所述测量底座底部固定安装有支撑腿；测量腔室，所述测量腔室开设在测量底座内侧；激光传感器，所述激光传感器固定安装在测量底座内侧；控制模块，所述控制模块固定安装在测量底座外侧。该特殊形状晶圆的平坦度测量设备通过将第一密封圈设置在吸盘和晶圆本体之间，从而保证吸盘与晶圆之间的密封性，随后通过负压吸引器的负压吸引力，将晶圆本体与吸盘之间的空气抽空，使其之间保持一个真空状态，通过这种真空状态从而使晶圆本体固定在吸盘上端，此结构不仅可以最大程度的避免晶圆本体外侧受到磨损，且可以适用多种形状的晶圆，从而增加晶圆本体的适用性。
主权项：1.一种特殊形状晶圆的平坦度测量设备，其特征在于，包括：测量底座1，所述测量底座1底部固定安装有支撑腿2；测量腔室3，所述测量腔室3开设在测量底座1内侧；激光传感器4，所述激光传感器4固定安装在测量底座1内侧；控制模块5，所述控制模块5固定安装在测量底座1外侧，且测量底座1外侧固定安装有数据分析模块6；送料组件7，所述送料组件7设置在测量腔室3外侧；定位组件8，所述定位组件8设置在测量底座1和送料组件7之间；除湿组件9，所述除湿组件9设置在测量腔室3内侧；防尘组件11，所述防尘组件11设置在出气口905内侧；其中，通过所述送料组件7，可将晶圆本体送入测量腔室3内侧；通过所述定位组件8，可将送料组件7固定；通过所述除湿组件9，可对晶圆本体外侧的水汽和灰尘进行清理；通过所述防尘组件11，可避免灰尘进入测量腔室3内侧。
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百度查询： 无锡盟璨智能科技有限公司 一种特殊形状晶圆的平坦度测量设备及测量方法
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