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摘要：本发明涉及太赫兹技术领域，尤其是提供了应用于咪鲜胺检测的太赫兹超表面传感器及其制备方法。该太赫兹超表面传感器包括紫石英玻璃基底层；下层聚酰亚胺介质层；环偶极子谐振器阵列层，由环偶极子谐振图案磁控溅射生成，阵列材料为金属金，生长在下层聚酰亚胺介质层的上表面；上层聚酰亚胺层，设置在环偶极子谐振器阵列层的上表面；石墨烯层，设置在上层聚酰亚胺层上表面，该太赫兹超表面传感器引入了环偶极子谐振器阵列和石墨烯相集成的设计方案，采用微纳加工方法，构建环偶极子谐振器阵列，并采用石墨烯悬空转移技术，提高了传感器检测的灵敏度和性能，实现了低浓度有机分子检测需求。
主权项：1.一种应用于咪鲜胺检测的太赫兹超表面传感器，其特征在于，所述太赫兹超表面传感器包括：紫石英玻璃基底层1；下层聚酰亚胺介质层2；环偶极子谐振器阵列层3，由环偶极子谐振图案磁控溅射生成，阵列材料为金属金，生长在下层聚酰亚胺介质层2的上表面；上层聚酰亚胺层4，设置在环偶极子谐振器阵列层3的上表面；石墨烯层5，设置在上层聚酰亚胺层4上表面。
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百度查询： 齐鲁工业大学(山东省科学院) 应用于咪鲜胺检测的太赫兹超表面传感器及其制备方法
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