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摘要：本申请属于多晶硅制造领域，公开了一种三氯氢硅还原控制方法，包括采集生产多晶硅过程中各参数的时间序列数据；利用特征提取器对时间序列数据进行特征提取；基于提取的特征建立与训练预测模型；使用训练好的预测模型控制多晶硅生产过程的温度、氢气进料和三氯氢硅进料，调节沉积效率。本申请基于影响多晶硅生产过程的主要参数，以多晶硅的沉积效率作为三氯氢硅还原反应的评价标准，构建和训练神经网络模型，实现实时调整温度、氢气进料参数和三氯氢硅进料参数，快速响应生产过程中的变化，减少因外部因素导致的生产波动，提升生产稳定性，确保在不同生产条件下始终达到最佳沉积效率。
主权项：1.一种三氯氢硅还原控制方法，其特征在于，包括：采集生产多晶硅过程中各参数的时间序列数据；利用特征提取器对所述时间序列数据进行特征提取；基于提取的特征建立与训练预测模型；使用训练好的预测模型控制多晶硅生产过程的温度、氢气进料和三氯氢硅进料，调节沉积效率。
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