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摘要：本发明涉及金属靶材生产技术领域，具体涉及一种溅射平面银铜合金靶材及其制备方法，将纯银和纯铜在保护气体的氛围下进行熔炼，得到液态合金；在保护气体的氛围下，将液态合金依次进行保温和浇注沉积，破真空后冷却得到银铜合金铸锭；将银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、总轧制、低温退火，进而得到银铜合金粗锭；将银铜合金粗锭依次进行机加工CNC、绑定、探伤、后处理，得到银铜合金靶材。本发明使银铜合金粗锭成分均匀和提高了致密性。
主权项：1.一种溅射平面银铜合金靶材的制备方法，其特征在于，将纯银和纯铜在保护气体的氛围下进行熔炼，得到液态合金；在保护气体的氛围下，将液态合金依次进行保温和浇注沉积，破真空后冷却得到银铜合金铸锭；将银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、总轧制、低温退火，进而得到银铜合金粗锭；将银铜合金粗锭依次进行机加工CNC、绑定、探伤、后处理，得到银铜合金靶材。
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百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种溅射平面银铜合金靶材及其制备方法
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