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摘要：本发明提供的一种硅片抛光载具，包括圆盘状的本体，所述本体外缘具有若干均匀的第一外齿部，所述本体内侧设有若干用于放置硅片的保持孔，若干所述保持孔沿着本体的轴心均布，所述保持孔内沿着其内壁注塑有胶圈，所述胶圈的轴心与保持孔的轴心重合，所述胶圈厚度与本体厚度相同。本发明提供的一种硅片抛光载具，布局紧凑，不仅可保证抛光时双面都有抛光液均匀分散流通，而且还可分散载具中的应力集中，让载具不易变形，有效确保载具的使用周期，而且用于装载硅片的保持孔内布置有胶圈，能有效防止硅片在被装载在保持孔内时被本体磨损，保证硅片加工质量的稳定。
主权项：1.一种硅片抛光载具，其特征在于：包括圆盘状的本体，所述本体采用钣金材料制作，所述本体外缘具有若干均匀的第一外齿部，所述本体内侧设有若干用于放置硅片的保持孔，若干所述保持孔沿着本体的轴心均布，所述保持孔内沿着其内壁注塑有胶圈，所述胶圈的轴心与保持孔的轴心重合，所述胶圈厚度与本体厚度相同。
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百度查询： 武汉芯能特科技有限公司 一种硅片抛光载具
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