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摘要：本发明提供一种滤波器及其制作方法。所述滤波器的制作方法包括：提供晶圆，晶圆的正面形成有谐振结构、电极以及挡墙，电极上形成有第一导电柱，挡墙具有弹塑性且高度大于第一导电柱的高度；提供载板，载板的正面具有与第一导电柱位置对应的键合焊盘，载板中具有贯穿载板的第二导电柱，第二导电柱与键合焊盘电连接；将载板安装在晶圆上，晶圆的正面和载板的正面相对，键合焊盘与第一导电柱接触且电连接；其中，将载板安装在晶圆上的步骤中，载板挤压挡墙，挡墙包围晶圆和载板之间的部分空隙形成空腔。如此形成的空腔的气密性高，有利于提高滤波器的可靠性。本发明还提供一种利用上述制作方法制成的滤波器。
主权项：1.一种滤波器的制作方法，其特征在于，包括：提供晶圆，所述晶圆的正面形成有谐振结构、位于所述谐振结构两侧的电极以及环绕所述谐振结构的挡墙，所述电极上形成有第一导电柱，所述挡墙具有弹塑性，且所述挡墙的高度大于所述第一导电柱的高度；提供载板，所述载板的正面具有与所述第一导电柱位置对应的键合焊盘，所述载板中具有第二导电柱，所述第二导电柱贯穿所述载板且与所述键合焊盘电连接；以及将所述载板安装在所述晶圆上，所述晶圆的正面和所述载板的正面相对，所述键合焊盘与所述第一导电柱接触且电连接；其中，将所述载板安装在所述晶圆上的步骤中，所述载板挤压所述挡墙且所述挡墙与所述载板紧密贴合，所述挡墙包围所述晶圆和所述载板之间的部分空隙形成空腔。
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百度查询： 唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司 滤波器及其制作方法
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