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摘要：本发明提供了一种晶圆电镜扫描图像轮廓的提取方法及系统，属于半导体领域。该晶圆电镜扫描图像轮廓的提取方法包括获取晶圆原始扫描图像，并对原始扫描图像进行预处理，获取目标图像。将目标图像进行边缘检测，获取二进制图像。从二进制图像中抽取轮廓，并对抽取的轮廓做筛选和补全处理，得到二进制图像轮廓。对二进制图像轮廓进行筛选处理，并输出晶圆图像轮廓，将晶圆图像轮廓叠加至原始扫描图像中，以进行图形化显示。本发明通过首先读取晶圆电镜扫描原始图像，对其进行预处理等步骤后，最后输出晶圆图像轮廓，并将其叠加到原始晶圆电镜扫描图像中图形化显示，能够快速、准确地获得其二进制图像轮廓信息。
主权项：1.一种晶圆电镜扫描图像轮廓的提取方法，其特征在于，包括：获取晶圆原始扫描图像，并对原始扫描图像进行预处理，获取目标图像；将所述目标图像进行边缘检测，获取二进制图像；从所述二进制图像中抽取轮廓，并对抽取的轮廓做筛选和补全处理，得到二进制图像轮廓；对所述二进制图像轮廓进行筛选处理，并输出晶圆图像轮廓，将所述晶圆图像轮廓叠加至所述原始扫描图像中，以进行图形化显示。
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百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 晶圆电镜扫描图像轮廓的提取方法及系统
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