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摘要：本发明公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本发明通过设置有一系列的结构，使得该靶材储存箱，可对大型靶材进行存储的同时，方便拿取和存放，可对储存箱内部进行减震处理，对靶材进行充分保护。

主权项：1.一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体2、存储腔体11和移动柜14，其特征在于：所述主箱体2的底端固定安装有固定支腿1，所述主箱体2的表面通过合页安装有密封门体7，所述密封门体7的表面通过销轴安装有曲柄把手4，且曲柄把手4的一端向外延伸，所述密封门体7一侧的主箱体2表面焊接有卡环3，所述主箱体2的内部设置有存储腔体11，所述存储腔体11内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板9，所述存储腔体11的内部活动安装有移动柜14，且移动柜14的表面设置有凹槽13，所述移动柜14的内部均匀设置有存放隔腔20，所述存放隔腔20的内部皆活动安装有转运架18；所述存储腔体11的内部底端固定安装有防潮板16，防潮板16两侧的存储腔体11内部皆固定安装有限位滑槽12，限位滑槽12的表面限位安装有梯形滑块1201，且梯形滑块1201与移动柜14底端固定连接；所述限位门板9内表面与存储腔体11的内壁表面皆固定安装有缓冲板1001，缓冲板1001的表面皆固定安装有复位弹簧1002，且复位弹簧1002的末端表面固定安装有挤压胶板10；所述挤压胶板10两侧的存储腔体11内壁表面皆固定安装有弹性气囊15，且弹性气囊15的厚度自外而内缓缓增大；所述转运架18的顶端焊接有搭板21，搭板21的表面焊接有拉环19，且转运架18的底端固定安装有橡胶支垫1802，且橡胶支垫1802的内部设置有限位槽；所述转运架18的表面边缘处设置有四个U型滑槽1801，存放隔腔20的内壁表面固定安装有四个U型滑板17。

全文数据：一种大型ITO靶材储存箱技术领域[0001]本发明涉及靶材储存技术领域，具体为一种大型no靶材储存箱。背景技术[0002]在镀膜靶材的分类中，IT0靶材被划分为陶瓷靶材类，本身力学性能较差，在遭受外部作用力时，极容易产生碰碎或开裂等不良现象发生，特别是大型的IT0靶材，在IT0革巴材的存储过程中，为避免外部作用力对靶材的破坏，需保证存储箱或靶材盒具备充分的减震效果，而现有存放装置结构较为简单，无法对内部存放的靶材进行良好的限位，所能实现减震效果较为局限，对靶材的保护不足，在拿取时，是对靶材的某个位置施加作用力，而革巴材过长或较大时，受力集中明显，存在形变甚至断裂的风险，市面上也存在一些对靶材进行充分限位，甚至具备良好减震效果的储存箱，只是该类存放箱内部结构复杂，在拿取或存放材时，过程较为复杂，不便于实际操作。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种大型IT0靶材储存箱，以解决上述背景技术中提出的问题。[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大型IT0靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，且曲柄把手的一端向外延伸，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。[0005]优选的，所述固定支腿的表面套接有减震弹簧，且减震弹簧的两端皆焊接有固定支腿表面。[0006]优选的，所述存储腔体的内部底端固定安装有防潮板，防潮板两侧的存储腔体内部皆固定安装有限位滑槽，限位滑槽的表面限位安装有梯形滑块，且梯形滑块与移动柜底端固定连接。[0007]优选的，所述限位门板内表面与存储腔体的内壁表面皆固定安装有缓冲板，缓冲板的表面皆固定安装有复位弹簧，且复位弹簧的末端表面固定安装有挤压胶板。[0008]优选的，所述挤压胶板两侧的存储腔体内壁表面皆固定安装有弹性气囊，且弹性气囊的厚度自外而内缓缓增大。[0009]优选的，所述转运架的顶端焊接有搭板，搭板的表面焊接有拉环，且转运架的底端固定安装有橡胶支垫，且橡胶支垫的内部设置有限位槽。[0010]优选的，所述转运架的表面边缘处设置有四个U型滑槽，存放隔腔的内壁表面固定安装有四个U型滑板。[0011]优选的，所述曲柄把手一侧的密封门体表面固定安装有卡槽板，主箱体的顶柄汝置有放置槽。[0012]与现有技术相比，本发明的有益效果是:该大型IT0靶材储存箱通过安装有卡环，并和曲柄把手结合使用，可实现密封门体与主箱体之间固定连接效果的同时，产生足够的紧固压力，对限位门板进行挤压，通过安装有限位门板，可对移动柜进行限位，防止发生过位，通过安装有挤压胶板，并和复位弹簧结合使用，可承受限位门板产生的挤压力，对移动柜的两端进行限位的同时，可吸收该储存箱遭受的正面方向的振动力，防止振动力对移动柜进行振动，避免内部的ITO靶材产生振动破坏，通过安装有限位滑槽，可对移动柜进行支撑的同时，便于其进行限位滑移运动，方便对内部存储的IT0靶材进行拿取，通过安装有减震弹簧，可吸收固定支腿遭受的振动力，防止振动力对整个储存箱产生影响，通过安装有弹性气囊，便于吸收左右方位的振动力的同时，可对移动柜的左右两侧进行限位夹紧，对移动柜遭受的振动力进行扩散和抵消，通过安装有U型滑板，并和U型滑槽结合使用，对转运架进行限位固定的同时，可方便在转运架拿取过程中，对其运动进行引导。附图说明[0013]图1为本发明的整体结构示意图；[0014]图2为本发明的展开结构示意图；[0015]图3为本发明的内部结构示意图；[0016]图4为本发明的限位门板结构示意图；[0017]图5为本发明的移动柜结构示意图；[0018]图6为本发明的转运架结构示意图。[0019]图中：1、固定支腿;2、主箱体;3、卡环;4、曲柄把手;5、放置槽;6、减震弹簧;7、密封门体;8、卡槽板;9、限位门板；10、挤压胶板；1001、缓冲板；1002、复位弹簧；11、存储腔体；12、限位滑槽;1201、梯形滑块；13、凹槽;14、移动柜;15、弹性气囊；16、防潮板;17、U型滑板；18、转运架;1801、U型滑槽;1802、橡胶支垫；19、拉环;20、存放隔腔;21、搭板。具体实施方式[0020]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0021]在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。[0022]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。[0023]请参阅图1-6，本发明提供的一种实施例:一种大型IT0靶材储存箱，包括主箱体2、存储腔体11和移动柜14,在需要将no靶材进行存储操作前，需将该存储箱搬运到适宜的位置，尽量远离可产生振动力的物体，主箱体2的底端固定安装有固定支腿1，固定支腿1与地面直接接触，可产生足够的支撑力，对整个存储箱进行固定支撑，主箱体2的表面通过合页安装有密封门体7，密封门体7的后端表面向外凸起，可对主箱体2的开口进行密封的同时，方便对主箱体2进行开启，对内部存储的靶材进行拿取，密封门体7的表面通过销轴安装有曲柄把手4,受销轴的作用，曲柄把手4在受力时，可进行旋转运动，并对密封门体7产生一定的拉扯效果，方便对密封门体7进行开启，密封门体7—侧的主箱体2表面焊接有卡环3,卡环3为金属材质，且内部设置有通孔，且曲柄把手4的一端向外延伸，使用时，使用者可对曲柄把手4施加旋转力矩，带动曲柄把手4的一端卡入卡环3内部，二者实现过盈配合，并产生足够的紧固压力，使得整个密封门体7进行固定，主箱体2的内部设置有存储腔体11，存储腔体11的空间较大，存储腔体11的内部活动安装有移动柜14,移动柜14可在外力作用力，进行前后方向的位移运动，且移动柜14的表面设置有凹槽13,凹槽13向内凹陷，类似于把手，使用者手掌可与凹槽13接触，方便施加作用力，对移动柜14进行移动，移动柜14的内部均匀设置有存放隔腔20,存放隔腔20自下而上延伸，可延伸至移动柜14的顶端表面，存放隔腔20的内部皆活动安装有转运架18,转运架18的表面设置有通孔，本身为软体橡胶材质，而内部中空，在实际使用时，可将需要存储的IT0靶材直接放置入存放隔腔20内部，随后将转运架18连同其内部的靶材整体放入存放隔腔20内部，存储腔体11内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板9,在关闭密封门体7前，需关闭限位门板9.使得限位门板9与移动柜14表面接触，在关闭密封门体7后，密封门体7与限位门板9接触，由于卡环3和曲柄把手4限位夹紧产生的压力，经密封门体7传递后，直接作用在限位门板9表面，使得限位门板9受力，随后对移动柜14施加紧固压力，对移动柜14形成一定的限位效果。[0024]进一步，固定支腿1的表面套接有减震弹簧6,且减震弹簧6的两端皆焊接有固定支腿1表面。实施例中，在固定支腿1遭受振动力时，振动力可传递给减震弹簧6,减震弹簧6受力发生形变，而形成可产生相反的弹力，对振动力进行抵消，避免振动力向上传递，对整个储存箱造成影响。[0025]进一步，存储腔体11的内部底端固定安装有防潮板16，防潮板16两侧的存储腔体11内部皆固定安装有限位滑槽I2,限位滑槽12的表面限位安装有梯形滑块12〇1，且梯形滑块12〇1与移动柜14底端固定连接。实施例中，防潮板16表面固定粘结有无数个吸水颗粒，颗粒表面存在多个细微孔隙，可吸收存储腔体U内部空气中的水汽，避免水汽凝固在靶材表面，保证祀材的干燥，而限位滑槽12内表面为梯形槽，且表面光滑，摩擦系数较小，并对其上的物体进行限位运动，在移动柜14受力时，可带动梯形滑块12〇1沿限位滑槽u进行滑移运动，并对整个移动柜14进行限位，方便移动柜14自内而外进行运动，对靶材进行存放或拿取操作。[0026]进一步，限位门板9内表面与存储腔体11的内壁表面皆固定安装有缓冲板1001，缓冲板1001的表面皆固定安装有复位弹簧1〇〇2,且复位弹簧1002的末端表面固定安装有挤压胶板10。实施例中，当限位门板9对移动柜14进行顶紧时，实际是由两块挤压胶板10对移动柜14的前后两端进行顶紧和限位，缓冲板looi本身材质为硬质橡胶板，在该储存箱遭受前后方向的振动力时，可由缓冲板1001对振动力进行初步抵消，剩余振动力可传递给复位弹簧1〇〇2,复位弹簧1002受力后可产生形变，形变产生的反作用力可对振动力进行抵消，避免振动力作用在移动柜14乃至其内部的靶材上。[0027]进一步，挤压胶板1〇两侧的存储腔体丨丨内壁表面皆固定安装有弹性气囊15,且弹性气囊15的厚度自外而内缓缓增大。实施例中，弹性气囊15内部填充有惰性气体，可受力情况下，可发生形变，使用者推动移动柜14向前移动时，移动柜14两侧与两个弹性气囊15同时接触，并产生作用力，对弹性气囊15进行挤压，在存放过程中，弹性气囊15产生的反作用力可对移动柜14的两侧进行限位固定，并在该储存箱遭受左右方向的振动力时，弹性气囊15可通过形变对振动力进行抵消。[0028]进一步，转运架18的顶端焊接有搭板21，搭板21的表面焊接有拉环19,且转运架18的底端固定安装有橡胶支垫1802,且橡胶支垫1802的内部设置有限位槽。实施例中，搭板21与存放隔腔20的表面边缘接触，可对整个转运架18进行限位和支撑，在实际存放过程中，可将ITO靶材经转运架18的开口延伸至转运架18内部，ITO靶材的底端与橡胶支垫1802接触，并由其限位槽进行限位固定，橡胶支垫1802本身为软体橡胶，可对ITO靶材的底端表面进行包裹和支撑，一定程度上防止振动力对靶材底端造成伤害，使用者紧握拉环19，可对整个转运架18施加作用力，带动转运架18进出存放隔腔20。[0029]进一步，转运架18的表面边缘处设置有四个U型滑槽1801，存放隔腔20的内壁表面固定安装有四个U型滑板17。实施例中，在将转运架18放置入存放隔腔20内部时，四个U型滑板17可分别卡入U型滑槽1801的内部，对整个转运架18进行四点定位，U型滑槽1801内表面与U型滑板17的外表面皆光滑，二者接触形成的摩擦力较小，可便于转运架18进行限位滑移运动。[0030]进一步，曲柄把手4一侧的密封门体7表面固定安装有卡槽板8,主箱体2的顶端设置有放置槽5,表面固定安装有橡胶垫。实施例中，为对内部存放的靶材进行说明或对存储情况进行标注时，可将书写了相关内容的纸牌等物品卡入卡槽板8的内部槽体内，实现限位存放，方便进行说明和使用，在将转运架18拿取后，可暂时存放在放置槽5上，为人工将靶材放入转运架18的过程提供一个操作平台。[0031]对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

权利要求：1.一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体（2、存储腔体（11和移动柜（14，其特征在于:所述主箱体2的底端固定安装有固定支腿1，所述主箱体2的表面通过合页安装有密封门体7，所述密封门体⑺的表面通过销轴安装有曲柄把手⑷，且曲柄把手⑷的一端向外延伸，所述密封门体⑺一侧的主箱体⑵表面焊接有卡环3，所述主箱体⑵的内部设置有存储腔体（11，所述存储腔体（11内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板9，所述存储腔体（11的内部活动安装有移动柜（14，且移动柜（14的表面设置有凹槽13，所述移动柜（14的内部均匀设置有存放隔腔20，所述存放隔腔20的内部皆活动安装有转运架18。2.根据权利要求1所述的一种大型IT0靶材储存箱，其特征在于:所述固定支腿（1的表面套接有减震弹簧6，且减震弹簧6的两端皆焊接有固定支腿1表面。3.根据权利要求1所述的一种大型IT0靶材储存箱，其特征在于:所述存储腔体（11的内部底端固定安装有防潮板16，防潮板16两侧的存储腔体（11内部皆固定安装有限位滑槽（12，限位滑槽（12的表面限位安装有梯形滑块（1201，且梯形滑块（1201与移动柜14底端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种大型IT0靶材储存箱，其特征在于:所述限位门板⑼内表面与存储腔体a1的内壁表面皆固定安装有缓冲板1001，缓冲板1001的表面皆固定安装有复位弹簧1002，且复位弹簧1002的末端表面固定安装有挤压胶板1〇。5.根据权利要求4所述的一种大型IT0靶材储存箱，其特征在于:所述挤压胶板（10两侧的存储腔体11内壁表面皆固定安装有弹性气囊（15，且弹性气囊I5的厚度自外而内缓缓增大。6.根据权利要求1所述的一种大型IT〇靶材储存箱，其特征在于:所述转运架（18的顶端焊接有搭板21，搭板21的表面焊接有拉环（19，且转运架（1S的底端固定安装有橡胶支垫1802，且橡胶支垫1802的内部设置有限位槽。7.根据权利要求1所述的一种大型IT〇靶材储存箱，其特征在于:所述转运架（18的表面边缘处设置有四个U型滑槽（1801，存放隔腔（20的内壁表面固定安装有四个U型滑板17。8.根据权利要求1所述的一种大型1T0靶材储存箱，其特征在于:所述曲柄把手4一侧的密封门体⑺表面固定安装有卡槽板8，主箱体⑵的顶端设置有放置槽：5。

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