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摘要：本发明提供一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器及制备方法，分束器包括锥形耦合器及偏振滤波器；锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导，条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势；偏振滤波器包括串联在锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器，第一偏振滤波器用以TE偏振态的传导，并将TM偏振态耦合到第一狭缝波导中；第二偏振滤波器用以过滤TE偏振态，并将TM偏振态的偏振模式从第二狭缝波导向第二条形硅波导转化。本发明器件可利用集成工艺制备，工艺简单且容差较大，尺寸较小，在较宽的波长范围内均可以实现较高的消光比，易于实现与其他器件的集成。
主权项：1.一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器，其特征在于，所述锥形偏振分束器包括：串联的锥形耦合器及偏振滤波器；所述锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导，所述条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势，所述条形硅波导随着耦合距离的增加，宽度逐渐变小，所述狭缝波导随着耦合距离的增加，宽度逐渐变大；所述偏振滤波器包括串联在所述锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器，所述第一偏振滤波器包括第一条形硅波导与第一狭缝波导，用以TE偏振态的传导，并将TM偏振态耦合到所述第一条形硅波导旁的所述第一狭缝波导中以将所述TM偏振态耦合滤去；所述第二偏振滤波器包括第二条形硅波导与第二狭缝波导，用以过滤TE偏振态，并将TM偏振态的偏振模式从所述第二狭缝波导向所述第二条形硅波导转化；所述狭缝波导包括依次层叠的硅下层、二氧化硅中间层、以及氮化硅上层；所述条形硅波导及所述狭缝波导上还包覆有二氧化硅上包层。
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