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含氰金银电镀液的稳定剂、电镀液和电镀方法 

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摘要:本发明公开了含氰金银电镀液的稳定剂、电镀液和电镀方法,属于电镀技术领域。所述稳定剂为乙内酰脲或其衍生物,稳定剂与含氰金银电镀液中银离子的摩尔比为2以上。所述金银电镀液包含水溶性含氰金盐、水溶性含氰银盐、导电盐、上述稳定剂和水;金离子浓度为1‑20gL,银离子浓度为0.3‑10gL,导电盐浓度为10‑120gL。本发明的稳定剂对含氰金银电镀液中的银离子具有优异的保护能力,同时还能起到整平剂的作用;电镀液具有极高的稳定性,不需要额外添加游离的氰根离子和整平剂,对于半导体芯片制造涉及到光刻胶的制程比较友好;不改变电镀设备和电镀液,仅需改变电流密度,就可以获得不同金含量的金银合金镀层。

主权项:1.一种金银电镀液,其特征在于,所述金银电镀液包含水溶性含氰金盐、水溶性含氰银盐、导电盐、稳定剂和水,不需要加入结晶调整剂;金离子浓度为1-20gL,银离子浓度为0.3-10gL,导电盐浓度为10-120gL;所述稳定剂为乙内酰脲或其衍生物,稳定剂与含氰金银电镀液中银离子的摩尔比为2以上。

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