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一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置 

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摘要:本发明属于无机非金属材料制造技术领域,尤其是涉及一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置,包括底座,还包括:承托机构、加压排水机构、排水量计算机构、排水速率反馈调控机构、排水计时触发机构、加压力调节机构和形变大小监测显示机构。本发明能够将坩埚胚体中的水分快速排出,并提供不同的加压力满足含水量不同的坩埚胚体水分排出的需求,进而有效提高坩埚的致密性,能够基于排水速率对排水加压力的大小进行自动调控,在保证稳定排水的前提下,还能避免直接过大的加压力会对坩埚造成损伤的问题,能够对最终坩埚胚体的加压变形程度进行监测,进而反馈准确的信息给予技术人员。

主权项:1.一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置,包括底座(1),其特征在于,还包括:承托机构(2),固定安设在所述底座(1)上;加压排水机构(3),固定安设在所述承托机构(2)上,用于提供加压力;排水量计算机构(4),固定安设在所述底座(1)和承托机构(2)之间;排水速率反馈调控机构(5),固定安设在所述底座(1)的上端,且与排水量计算机构(4)传动连接;排水计时触发机构(6),固定安设在所述承托机构(2)上,用于控制排水量计算机构(4)的间隔启动动作;加压力调节机构(7),固定安设在所述加压排水机构(3)外,用于对加压排水机构(3)的加压力进行自动调控;形变大小监测显示机构(8),固定安设在所述加压排水机构(3)上,用于对坩埚加压过程中的形变程度进行监测显示;所述承托机构(2)包括固定安设在底座(1)上端的支架(21),所述支架(21)的上端固定安设有中空承托座(22),所述中空承托座(22)的内侧均匀开设有多个渗水微孔(23),所述中空承托座(22)的下端中心处固定连通有排水管(24),所述排水管(24)上安设有电磁阀;所述加压排水机构(3)包括两个对称固定安设在支架(21)上端的电动滑轨(31),所述电动滑轨(31)纵向延伸设置,两个所述电动滑轨(31)内滑块的上端固定连接有同一个U形立板(32),所述U形立板(32)的水平部对称固定插套有两根电动推杆(33),两根所述电动推杆(33)的下端移动端固定连接有同一个固定板(34),所述固定板(34)的表面对称开设有多个插孔,且对应插孔内活动插套有加压杆(35),多根所述加压杆(35)的下端固定连接有同一个加压块(36),多根所述加压杆(35)的上端固定连接有同一个加压板(37),所述加压板(37)的下端和固定板(34)的上端固定连接有多个套设在加压杆(35)外的顶推弹簧(38),所述固定板(34)的上端固定连接有罩套在加压板(37)外的罩壳(39),所述加压板(37)的上端固定连接有受力永磁板(310),所述罩壳(39)的内壁顶部固定安设有加压电磁板(311);所述排水量计算机构(4)包括多根对称固定连接在底座(1)上端和中空承托座(22)下端的导向滑杆(41),多根所述导向滑杆(41)分为两排对称设置,同一排多根所述导向滑杆(41)外滑动套接有同一个滑动座(42),所述滑动座(42)的上端和中空承托座(22)的下端固定连接有多个套设在导向滑杆(41)外的上拉弹簧(43),两个所述滑动座(42)之间固定连接有同一个接水壳(44),所述接水壳(44)的下端中心处固定连通有出水管(45),所述出水管(45)上安设有电磁阀,所述底座(1)的上端固定安设有设置在接水壳(44)下端的蓄水壳(46);所述排水速率反馈调控机构(5)包括固定安设在底座(1)上端的调控壳(51),所述调控壳(51)靠近接水壳(44)的一侧开设为开口结构,所述调控壳(51)的内壁固定连接有多根前后并排设置的限位滑杆(52),多根所述限位滑杆(52)外滑动套接有同一个升降座(53),所述升降座(53)的一端固定连接在滑动座(42)的外壁上,所述调控壳(51)的内壁固定安设有竖向设置的反馈电阻棒(54),所述升降座(53)的表面开设有套设在反馈电阻棒(54)外的套孔,且对应套孔的内壁固定连接有与反馈电阻棒(54)电接触的反馈导电接片(55),所述调控壳(51)的内壁上侧固定安设有反馈开关(56),所述升降座(53)的一端固定连接有与反馈开关(56)位于同一竖直线上的按压圆头(57);所述加压力调节机构(7)包括固定安设在U形立板(32)外的调节壳(71),所述调节壳(71)的内壁转动连接有竖向设置的调节螺杆(72),所述调节壳(71)的上端固定安设有用于驱动调节螺杆(72)自转的调节电机(73),所述调节螺杆(72)的杆壁螺纹套接有调节块(74),所述调节壳(71)的内壁一侧固定安设有调节电阻棒(75),所述调节块(74)的一端固定连接有与调节电阻棒(75)电接触的调节导电接片(76);所述调节导电接片(76)和调节电阻棒(75)串联在加压电磁板(311)的供电电路上,所述反馈导电接片(55)和反馈电阻棒(54)串联在调节电机(73)的供电电路上。

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