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探针卡和包括探针卡的测试装置 

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摘要:提供了探针卡和包括探针卡的测试装置。探针卡可包括探针基板、位于探针基板上的多个电缆、位于探针基板上的多个引脚以及位于探针基板上的导电线,其中,多个引脚电连接至多个电缆,导电线连接至接地线。

主权项:1.探针卡,包括:探针基板;多个电缆,位于所述探针基板上;多个引脚,位于所述探针基板上,所述多个引脚电连接至所述多个电缆;以及导电线,位于所述探针基板上,所述导电线连接至接地线,其中,所述多个电缆中的每一个的一端连接至所述多个引脚中的一个,所述多个电缆中的每一个的另一端连接至测量器,并且所述多个电缆中的每一个是一体式的,以及其中,所述导电线与所述多个电缆和所述多个引脚电分离。

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