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摘要：提供一种中空状合成石英玻璃多孔质母材的制造方法以及合成石英玻璃筒的制造方法，即使是外径超过300mm的烟炱体，也能够不使生长中产生的离心力等对装置的负载大幅增大地制作烟炱体，即使在以低速旋转制造的情况下，也不会对烟炱体产生裂缝、破裂，且容易拔出靶。是通过OVD法制造中空状多孔质石英玻璃母材的方法，基于生长时变动的烟炱体的外径使该烟炱体的转速变动，从而将该烟炱体的旋转圆周速度控制为实际上固定，且在该烟炱体的外径超过250mm的范围，将由γ＝SL·Nm[S为燃烧器的移动速度mm分钟，L为燃烧器的移动距离mm，Nm为烟炱体的变动的转速的最低值rpm]计算出的频度系数γ设定为0.13≦γ＜1.0的范围。
主权项：1.一种中空状多孔质石英玻璃母材的制造方法，是制造中空状多孔质石英玻璃母材的方法，包括如下工序：以规定的间隔配置多个玻璃微粒子合成用燃烧器，使该燃烧器往复移动，使玻璃微粒子沉积在旋转的靶上从而使烟炱体生长；以及从该烟炱体拔出该靶，来制造中空状多孔质石英玻璃母材，其特征在于，基于在生长时变动的该烟炱体的外径使该烟炱体的转速变动，从而将该烟炱体的旋转圆周速度控制为实际上固定，且在该烟炱体的外径超过250mm的范围，将由下述式1计算出的频度系数γ设定为下述式2的范围，γ＝SL·Nm···10.13≦γ＜1.0···2其中在所述式1中，S为所述燃烧器的移动速度，单位为mm分钟，L为所述燃烧器的移动距离，单位为mm，Nm为所述烟炱体的变动的转速的最低值，单位为rpm。
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百度查询： 信越石英株式会社 大型中空状多孔质石英玻璃母材以及其制造方法
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