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摘要:本发明涉及一种CMOS图像传感器像素单元多次脉冲读取电荷传输效率的仿真方法,该方法通过在CMOS图像传感器像素单元曝光阶段开始之前,对钳位光电二极管进行复位,设置传输栅栅压为0V,使光电二极管处于积累状态,然后在仿真环境中采用准直光源入射,调用光注入模型,实现光产生过程的模拟,提取此时钳位光电二极管中的光生载流子数目N1,将浮置扩散节点设置为高电位并保持,同时在传输栅上设置脉冲电压,提取每一次传输栅开启后的钳位光电二极管中剩余光生载流子数目N2,直到钳位光电二极管中剩余光生载流子数目N2不再随时间变化时,利用该N2值计算CMOS图像传感器像素单元的电荷传输效率。本发明可以获得电荷传输效率,还可以直观看到电荷传输过程中的微观电势分布,从而分析得到电荷传输的限制机制。
主权项:1.一种CMOS图像传感器像素单元多次脉冲读取电荷传输效率的仿真方法,其特征在于按下列步骤进行:a、在CMOS图像传感器像素单元曝光阶段开始之前,对钳位光电二极管进行复位,设置传输栅栅压为0V,使光电二极管处于积累状态;b、在TCAD软件仿真环境中采用准直光源入射,调用TCAD软件中的RayTracing光注入模型,实现光产生过程的模拟,提取此时钳位光电二极管中的光生载流子数目N1;c、将浮置扩散节点设置为高电位并保持,同时在传输栅上设置脉冲电压,提取每一次传输栅开启后的钳位光电二极管中的剩余光生载流子数目N2;d、直到钳位光电二极管中剩余光生载流子数目N2不再随时间变化时,利用该N2值计算CMOS图像传感器像素单元的电荷传输效率CTE,即CTE=1-N2N1×100%。
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百度查询: 中国科学院新疆理化技术研究所 一种CMOS图像传感器像素单元多次脉冲读取电荷传输效率仿真方法
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