龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：根据本发明一观点的种基板处理方法，利用基板处理装置，基板处理装置包括：工艺腔室，在内部限定处理空间；基板支撑架，设置在工艺腔室以在上部安装基板；气体喷射部，在处理空间内向基板支撑架上供应工艺气体；远程等离子体发生器，连接于工艺腔室。所述基板处理方法包括如下的步骤：在基板支撑架上安装基板；通过远程等离子体发生器将表面处理气体连续供应于基板支撑架上的基板上；将吹扫气体连续供应于基板支撑架上的基板上；对远程等离子体发生器供应等离子电源，以激活表面处理气体来供应于基板上；及切断对远程等离子体发生器供应的等离子电源，将蚀刻气体供应于基板支撑架上的基板上。
主权项：1.一种基板处理方法，作为利用基板处理装置的基板处理方法，所述基板处理装置包括工艺腔室、基板支撑架、气体喷射部、第一进气线、第二进气线及配置在所述工艺腔室外部且与所述工艺腔室连接的远程等离子体发生器，所述工艺腔室在内部限定处理空间，所述基板支撑架设置在所述工艺腔室以在上部安装基板，所述气体喷射部在所述处理空间内向所述基板支撑架上供应工艺气体，所述远程等离子体发生器连接于所述工艺腔室，其特征在于，包括如下的步骤：在所述基板支撑架上安装基板；通过所述远程等离子体发生器将表面处理气体连续供应于所述基板支撑架上的所述基板上；将吹扫气体连续供应于所述基板支撑架上的所述基板上；对所述远程等离子体发生器供应等离子电源，以在所述远程等离子体发生器内激活所述表面处理气体，使激活的表面处理气体以自由基的形式供应到所述基板上；及切断对所述远程等离子体发生器供应的等离子电源，将蚀刻气体供应于所述基板支撑架上的所述基板上，在供应所述表面处理气体及吹扫气体之前，包括将所述蚀刻气体预先供应于基板上的步骤，其中，所述表面处理气体通过所述第二进气线供应到所述远程等离子体发生器内，在所述远程等离子体发生器内激活后供应到所述处理空间，所述蚀刻气体通过所述第一进气线直接供应到所述处理空间，所述吹扫气体通过所述第二进气线经过所述远程等离子体发生器供应到所述处理空间或者通过所述第一进气线直接供应到所述处理空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 圆益IPS股份有限公司 基板处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号