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摘要：本发明作为一种基板支撑架，包括：基座，形成有上面凹陷形成的圆盘形状的多个口袋槽部，以在上面沿着周围方向安装基板；轴，连接于基座下部以旋转驱动基座；及附属件，安装在口袋槽部，并且在上面安装基板；其中，基座包括：升降气体孔部，为了漂浮附属件而形成在口袋槽部中心部分，并且喷射通过形成在基座内部的第一升降气体流道流进的升降气体；及运动气体孔部，为了旋转驱动在口袋槽部漂浮的附属件而形成在口袋槽部边缘部分，并且喷射通过形成在基座内部的第一运动气体流道流进的运动气体；轴包括：第二升降气体流道，将从外部供应的升降气体传递至第一升降气体流道；及第二运动气体流道，将从外部供应的运动气体传递至第一运动气体流道。
主权项：1.一种基板支撑架，所述基板支撑架包括：基座，形成有多个口袋槽部，所述口袋槽部为圆盘形状并且上面凹陷形成，以在上面沿着周围方向安装基板；轴，连接于所述基座下部以旋转驱动所述基座；及附属件，安装在所述口袋槽部，并且在上面安装所述基板；其中，所述基座包括：升降气体孔部，为了漂浮所述附属件而形成在所述口袋槽部中心部分，并且喷射通过形成在所述基座内部的第一升降气体流道流进的升降气体；及多个运动气体孔部，为了旋转驱动在各个所述口袋槽部漂浮的所述附属件而形成在各个所述口袋槽部边缘部分，并且分别喷射通过形成在所述基座内部的多个第一运动气体流道流进的运动气体；所述轴包括：第二升降气体流道，将从外部供应的所述升降气体传递至所述第一升降气体流道；及多个第二运动气体流道，将从外部供应的所述运动气体分别传递至所述多个第一运动气体流道，其中，所述多个第二运动气体流道从多个运动气体供应部单独接收所述运动气体，并通过所述多个第一运动气体流道单独供应至所述多个运动气体孔部。
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百度查询： 圆益IPS股份有限公司 基板支撑架及基板处理装置
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