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摘要：本发明提供一种探针卡，包括有探针座、至少一阻抗匹配探针以及多个第一探针。其中，探针座具有待测物侧以及与待测物侧相对应的测试机侧。每一阻抗匹配探针具有一探针部以及与探针部连接的信号传输部，信号传输部的一端设置于测试机侧，信号传输部具有一探针中心轴。每一第一探针具有一针尖段以及与所述针尖段连接的悬臂段。悬臂段的一端与探针座电性连接，悬臂段具有第一中心轴。探针中心轴与第一中心轴具有大于零度的第一夹角。
主权项：1.一种探针卡，用以测试一待测物的电性，其特征在于，所述探针卡包括有：一探针座，具有一待测物侧以及与所述待测物侧相对应的一测试机侧；至少一阻抗匹配探针，每一阻抗匹配探针具有一探针部以及与所述探针部连接的一信号传输部，所述信号传输部的一端设置于所述测试机侧，所述信号传输部穿过所述探针座上的一通孔，所述信号传输部具有一探针中心轴；以及多个第一探针，分别具有一针尖段以及与所述针尖段连接的悬臂段，每一第一探针的所述悬臂段的一端与所述探针座电性连接，所述针尖段设置在所述通孔的所述待测物侧，所述悬臂段具有一第一中心轴；其中，每一所述阻抗匹配探针的至少一侧具有至少一所述第一探针，所述探针中心轴与所述至少一所述第一探针的第一中心轴具有大于零度的一第一夹角；其中，所述通孔具有多个开槽，其中每一所述阻抗匹配探针分别对应其中之一所述开槽，每一所述阻抗匹配探针的所述信号传输部分别穿过所述通孔相对应的其中之一所述开槽，而在所述其中之一所述开槽中沿着一第一轴或第二轴直向进针。
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百度查询： 旺矽科技股份有限公司 探针卡
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