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摘要：本发明提供一种热处理装置及热处理方法，在抑制腔室的开闭门滑动所需的空间的同时，确保在腔室的内部配置基板的空间，进而在开闭门开口时抑制腔室的内部的散热。本发明包括：腔室，设置有开口部，自开口部搬入工件；支撑部，设置于腔室的内部，对工件进行支撑；加热器，设置于腔室的内部，对由支撑部支撑的工件进行热处理；开闭门，能够相对于开口部在上下方向上移动，且在进行热处理时将开口部关闭；以及加热控制部，在利用开闭门使开口部的一部分开口的期间，使腔室的内部中位于开口部由开闭门关闭的区域的加热器接通。
主权项：1.一种热处理装置，进行连续的多次热处理，且所述热处理装置包括：腔室，设置有开口部，供自所述开口部搬入多个工件；支撑部，于所述腔室的内部，以沿上下方向排列多个的方式设置，对所述工件进行支撑；加热器，于所述腔室的内部，以沿所述上下方向排列多个的方式设置，对由所述支撑部支撑的所述工件进行热处理；开闭门，为能够相对于所述开口部在所述上下方向上移动的一扇开闭门，且在进行热处理时将所述开口部关闭；以及加热控制部，于所述多次热处理中，在先进行的热处理结束后，且后进行的热处理进行前，在利用所述开闭门使所述开口部的一部分开口而搬出所述热处理结束后的所述工件的期间，使所述腔室的内部中位于所述开口部由所述开闭门关闭的区域的所述加热器接通，所述腔室的内部的所有区域与所述开口部连通。
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百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 热处理装置及热处理方法
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