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摘要：一种用于向衬底处理系统提供RF功率的直驱系统包括直驱外壳，该直驱外壳包括：第一直驱电路，其位于所述直驱外壳中并以第一频率运行；和第一连接器，其连接所述第一直驱电路。接线盒布置成与所述直驱外壳相邻，并且包括：第一电容电路，其连接所述第一直驱电路；第二连接器，其位于所述接线盒的一侧，与所述第一电容电路的一端子连接，并与所述直驱外壳的所述第一连接器配合；第三和第四连接器，其连接所述第一电容电路的另一端子；以及靠近所述接线盒布置的线圈外壳，其包括第一线圈和第二线圈；以及第五和第六连接器，其与所述接线盒的所述第三和第四连接器配合。
主权项：1.一种向等离子体处理系统提供RF功率的方法，其包括：提供接线盒，所述接线盒包括：第一连接器，其被配置为连接第一直驱电路；多个第二连接器，其被配置为连接线圈外壳；以及第一电容电路，其连接于所述第一连接器与所述多个第二连接器之间；提供线圈外壳，所述线圈外壳包括：多个第三连接器，其连接所述接线盒的所述多个第二连接器；以及第一线圈和第二线圈，其连接所述线圈外壳的所述多个第三连接器；将所述接线盒和所述线圈外壳布置为与处理室的窗相邻；校准所述第一电容电路的电容值；以及将包括所述第一直驱电路的直驱外壳布置为与所述接线盒相邻，其中所述第一直驱电路包括：时钟发生器，其以第一频率产生时钟信号；栅极驱动器，其连接所述时钟发生器的输出；DC电源；和半桥，其连接所述栅极驱动器和所述DC电源。
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