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摘要：本申请提出了一种固晶返修机，用于剔除基板上的不良固晶，且对所述基板重新固晶，包括：机座，设置有用于承载所述基板的载台；位置感应组件，沿第一方向滑动设于所述机座上，所述位置感应组件配置为获取所述基板上的不良固晶的位置信息；图像感应组件，沿第二方向滑动设于所述机座上，所述图像感应组件配置为获取所述基板上的不良固晶的图像信息；去晶组件，沿第三方向滑动设于所述机座上，所述去晶组件包括去晶头，所述去晶头朝向所述载台设置；固晶组件，沿第四方向滑动设于所述机座上，所述固晶组件包括固晶头，所述固晶头朝向所述载台设置；点锡组件，沿第五方向滑动设于所述机座上，所述点锡组件包括点锡头，所述点锡头朝向所述载台设置。
主权项：1.一种固晶返修机，用于剔除基板上的不良固晶，且对所述基板重新固晶，其特征在于，包括：机座，设置有用于承载所述基板的载台；位置感应组件，沿第一方向滑动设于所述机座上，所述位置感应组件配置为获取所述基板上的不良固晶的位置信息，所述第一方向与所述载台表面的延伸方向相平行；图像感应组件，沿第二方向滑动设于所述机座上，所述图像感应组件配置为获取所述基板上的不良固晶的图像信息，所述第二方向与所述载台表面的延伸方向相平行；去晶组件，沿第三方向滑动设于所述机座上，所述去晶组件包括去晶头，所述去晶头朝向所述载台设置，所述第三方向与所述载台表面的延伸方向相平行，所述位置感应组件、所述图像感应组件均与所述去晶组件电连接；固晶组件，沿第四方向滑动设于所述机座上，所述固晶组件包括固晶头，所述固晶头朝向所述载台设置，所述第四方向与所述载台表面的延伸方向相平行，所述位置感应组件、所述图像感应组件均与所述固晶组件电连接；点锡组件，沿第五方向滑动设于所述机座上，所述点锡组件包括点锡头，所述点锡头朝向所述载台设置，所述第五方向与所述载台表面的延伸方向相平行，所述点锡组件与所述固晶组件电连接；以及供晶组件，所述供晶组件设置于所述机座的一侧，所述供晶组件上安装有晶圆；所述供晶组件与所述固晶组件电连接。
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