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摘要：本申请公开一种真空镀膜设备，包括：真空腔室；与真空腔室相连通的排气机构；设置在真空腔室内顶部的游星回转机构，用于安装基板；设置在真空腔室内底部的蒸发源；加热机构，设置在真空腔室内且与蒸发源位于基板的同一侧，加热机构位于游星回转机构的下方；加热机构包括支架、卤素灯、两个第一电极和至少两个接线排；支架固定设置在真空腔室的壁面；卤素灯安装于支架，卤素灯相对于支架的位置和角度可调；每个接线排均与卤素灯通过第一导线相连；两个第一电极分别与不同的接线排通过第二导线相连，用于将真空腔室外部的电源引至接线排。本说明书所提供的真空镀膜设备，其加热机构的加热效率高，热量传递迅速，且游星回转机构的寿命得以延长。

主权项：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：真空腔室；与所述真空腔室相连通的排气机构，用于对所述真空腔室抽真空；设置在所述真空腔室内顶部的游星回转机构，用于安装基板；设置在所述真空腔室内底部的蒸发源，用于对所述基板镀膜；加热机构，用于加热所述基板；所述加热机构设置在所述真空腔室内且与所述蒸发源位于所述基板的同一侧，所述加热机构位于所述游星回转机构的下方；所述加热机构包括支架、卤素灯、两个第一电极和至少两个接线排；所述支架固定设置在所述真空腔室的壁面；所述卤素灯安装于所述支架，所述卤素灯相对于所述支架的位置和角度可调；每个所述接线排均与所述卤素灯通过第一导线相连；两个所述第一电极分别与不同的所述接线排通过第二导线相连，用于将所述真空腔室外部的电源引至所述接线排；所述卤素灯通过调节块连接至所述支架；所述卤素灯通过框架连接至所述调节块，所述框架与所述调节块相连；所述调节块与所述支架相连，所述调节块能相对于所述支架沿所述支架的轴线方向移动，同时能相对于所述支架绕所述支架的轴线旋转；所述调节块设有第一安装凸起，所述第一安装凸起的延伸方向垂直于所述支架的轴向；所述框架设有供所述第一安装凸起穿过的第一安装孔，所述框架能相对于所述调节块绕所述第一安装凸起的轴线旋转，用于调节所述卤素灯的照射角度；所述卤素灯背离所述框架的一侧设有第一防污玻璃，用于保护所述卤素灯的表面；所述第一防污玻璃呈平板状；所述第一防污玻璃背离所述卤素灯的一侧设有灯罩，所述灯罩将所述第一防污玻璃和卤素灯罩在所述框架内；所述灯罩上开设有网孔，使卤素灯的照射光线穿过；所述卤素灯包括卤素灯管、以及分别位于所述卤素灯管两侧的第二防污玻璃和隔热陶瓷，所述隔热陶瓷靠近所述调节块设置；所述隔热陶瓷和第二防污玻璃将所述卤素灯管包围在两者合围区域内；所述隔热陶瓷背离所述卤素灯管的一侧设有反射板，用于反射卤素灯下半部分的光线；所述卤素灯还包括灯座和卡箍，所述卡箍将所述第二防污玻璃、隔热陶瓷、反射板和灯座连接；所述灯座两端均设有第二电极；所述卤素灯管的一端通过电极锁紧螺钉连接至所述第二电极的一端，所述第二电极的另一端和所述第一导线通过导线锁紧螺钉连接。

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