龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型提供了一种晶舟，属于半导体制造技术领域。晶舟，包括底座和垂直设置于底座上的至少三个支撑架，支撑架沿底座的周向间隔设置，支撑架上沿其延伸方向间隔设置有多个用于承载晶圆的承载结构，承载结构包括多个用于支撑于晶圆的边缘的支撑部，支撑部的延伸方向垂直于支撑架的延伸方向，支撑部用于与晶圆接触的表面设置有容纳孔，容纳孔内设置有柱状的辅助支撑部，辅助支撑部能够沿支撑架的延伸方向上升以凸出于所述支撑部表面，或，辅助支撑部能够沿支撑架的延伸方向下降以收纳于容纳孔内。本实用新型的技术方案能够在热处理时减少晶舟与晶圆的接触面积，降低晶圆的污染风险。
主权项：1.一种晶舟，包括底座和垂直设置于所述底座上的至少三个支撑架，所述支撑架沿所述底座的周向间隔设置，所述支撑架上沿其延伸方向间隔设置有多个用于承载晶圆的承载结构，所述承载结构包括多个用于支撑于晶圆的边缘的支撑部，所述支撑部的延伸方向垂直于所述支撑架的延伸方向，其特征在于，所述支撑部用于与所述晶圆接触的表面设置有容纳孔，所述容纳孔内设置有柱状的辅助支撑部，所述辅助支撑部能够沿所述支撑架的延伸方向上升以凸出于所述支撑部表面，或，所述辅助支撑部能够沿所述支撑架的延伸方向下降以收纳于所述容纳孔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 晶舟
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号