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摘要：本实用新型提供了一种污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置，涉及单晶制造技术领域，该系统包括：在线分析设备、污氩气放空调节阀和DCS控制系统，在线分析设备的输出端电性连接DCS控制系统的输入端，DCS控制系统的输出端电性连接污氩气放空调节阀的控制端；在线分析设备包括粗氩气氧含量分析仪、污氩气氮氢含量分析仪、污氩气排放压力检测器、冷凝蒸发器温度检测器和冷凝蒸发器氮含量分析仪；污氩气放空调节阀与精馏塔的顶部连接，用于排放污氩气；精馏塔包括冷凝蒸发器；DCS控制系统用于根据在线分析设备反馈的数据，自动地调节污氩气放空调节阀的开度，有效保证了液氩和产品气的纯度，提高了氩气回收装置对粗氩气中Ar的回收率。
主权项：1.一种污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，包括在线分析设备、污氩气放空调节阀和DCS控制系统，所述在线分析设备的输出端电性连接所述DCS控制系统的输入端，所述DCS控制系统的输出端电性连接所述污氩气放空调节阀的控制端；所述在线分析设备包括粗氩气氧含量分析仪、污氩气氮氢含量分析仪、污氩气排放压力检测器、冷凝蒸发器温度检测器和冷凝蒸发器氮含量分析仪；所述污氩气放空调节阀与精馏塔的顶部连接，用于排放污氩气；所述精馏塔包括冷凝蒸发器；所述DCS控制系统用于根据所述在线分析设备反馈的数据，自动地调节所述污氩气放空调节阀的开度。
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百度查询： 四川永祥光伏科技有限公司 污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置
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