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摘要：本实用新型公开了一种圆晶甩干机，包括甩干箱，所述甩干箱的内底侧壁通过旋转驱动装置连接有安装箱，所述安装箱呈顶部呈开口设置的圆筒，所述安装箱的顶部固定连接有顶板，所述顶板上侧固定连接有多个支撑片，所述安装箱内底侧固定连接有第一电机，所述第一电机通过传动装置连接有四个螺纹杆，四个所述螺纹杆一端均转动连接在安装箱的内侧壁上，四个所述螺纹杆上均螺纹连接有限位柱，所述顶板的侧壁上开设有四个呈贯穿设置的轨道槽。本实用新型设计合理，构思巧妙，通过设置第一斜齿轮、第二斜齿轮、螺纹杆、限位柱等部件相互配合，进而能根据晶圆的不同尺寸晶圆的进行限制，适用性较高，便于推广。
主权项：1.一种圆晶甩干机，包括甩干箱1，其特征在于，所述甩干箱1的内底侧壁通过旋转驱动装置连接有安装箱16，所述安装箱16呈顶部呈开口设置的圆筒，所述安装箱16的顶部固定连接有顶板8，所述顶板8上侧固定连接有多个支撑片7，所述安装箱16内底侧固定连接有第一电机6，所述第一电机6通过传动装置连接有四个螺纹杆9，四个所述螺纹杆9一端均转动连接在安装箱16的内侧壁上，四个所述螺纹杆9上均螺纹连接有限位柱2，所述顶板8的侧壁上开设有四个呈贯穿设置的轨道槽3，四个所述限位柱2分别对应滑动连接在四个轨道槽3内。
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百度查询： 河北中科微电子有限公司 一种圆晶甩干机
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