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摘要：本实用新型公开了一种快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统。MBE腔体结构包括：MBE生长腔和快速传样腔，MBE生长腔与快速传样腔相连通，MBE生长腔与快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道，快速传样腔上设置有用于取出样品的取样口；第一开关机构，设置在MBE生长腔和快速传样腔之间，并用于打开、关闭连接通道；第二开关机构，设置在快速传样腔上，并用于打开、关闭取样口；抽真空机构，与快速传样腔连接，并用于将快速传样腔形成真空状态；破真空机构，与快速传样腔连接，并用于破坏快速传样腔内的真空状态。本实用新型在不需打开MBE腔体的前提下即快速取出掉落样品，极大地节约了人力物力和时间。
主权项：1.一种快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于，包括：MBE生长腔和快速传样腔，所述MBE生长腔与所述快速传样腔相连通，所述MBE生长腔与所述快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道，所述快速传样腔上设置有用于取出样品的取样口；第一开关机构，设置在所述MBE生长腔和所述快速传样腔之间，并用于打开、关闭所述连接通道；第二开关机构，设置在所述快速传样腔上，并用于打开、关闭所述取样口；抽真空机构，与所述快速传样腔连接，并用于将所述快速传样腔形成真空状态；破真空机构，与所述快速传样腔连接，并用于破坏所述快速传样腔内的真空状态。
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百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统
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