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摘要:本实用新型提供一种氮化硅粉的除杂装置、氮化硅粉生产系统,其中除杂装置包括:砂磨机、缓冲罐、酸洗反应釜、水洗槽、过滤器、尾气吸收塔,以及旋液分离器;所述砂磨机的进料口与待除杂氮化硅粉浆输送管连通,所述砂磨机的出料口与所述缓冲罐的进料口连通,所述缓冲罐的出料口与所述酸洗反应釜的顶部进料口连通;所述酸洗反应釜的底部出料口与所述水洗槽的进料口连通,所述水洗槽的底部出料口与所述过滤器的进口连通;所述酸洗反应釜的顶部排气口与所述尾气吸收塔的第一进气口连通,所述尾气吸收塔的出气口与所述旋液分离器的进口连通。本实用新型实能够除杂后氮化硅粉具备高洁净度;并且,除杂效率高。
主权项:1.一种氮化硅粉的除杂装置,其特征在于,包括:砂磨机、缓冲罐、酸洗反应釜、水洗槽、过滤器、尾气吸收塔,以及旋液分离器;所述砂磨机的进料口与待除杂氮化硅粉浆输送管连通,所述砂磨机的出料口与所述缓冲罐的进料口连通,所述缓冲罐的出料口与所述酸洗反应釜的顶部进料口连通;所述酸洗反应釜的底部出料口与所述水洗槽的进料口连通,所述水洗槽的底部出料口与所述过滤器的进口连通;所述酸洗反应釜的顶部排气口与所述尾气吸收塔的第一进气口连通,所述尾气吸收塔的出气口与所述旋液分离器的进口连通。
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